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简要介绍下蚀刻技术及其特点??
干法蚀刻的复杂与优势 与湿法相比 ,干法蚀刻成本更高,但对薄膜特征分辨率和垂直侧壁的需求提供显著优势。集成电路行业长期依赖干法蚀刻,但在MEMS中 ,特征尺寸的需求可能不像集成电路那么严格 。
基本工艺要求 理想的刻蚀工艺必须具有以下特点:①各向异性刻蚀,即只有垂直刻蚀,没有横向钻蚀。
特点:适应性强 ,表面均匀性好 、对硅片损伤少,几乎适用于所有的金属、玻璃、塑料等材料。缺点:图形刻蚀保真想过不理想,刻蚀图形的最小线难以掌控 。低成本 、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。
金属蚀刻主要工艺流程是什么?
1、蚀刻工艺的一般流程:蚀刻预处理 ,是保证丝印油墨与金属表面具有良好附着力的关键工序,因此金属蚀刻表面的油污和氧化膜必须彻底清除。除油应根据工件的油污情况而定,电解除油应在丝印前进行,以保证除油的效果 。
2 、金属蚀刻就是先在基板上用丝印或网印的方式把基板上需要保护的部位遮住 ,然后用化学或电化学方式侵蚀掉不需要的部位,最后退去保护膜,得到制品的一种加工方式。是生产标牌、电路板、金属工艺品、金属版画等过程中的关键步骤。
3 、在金属蚀刻之前的工序都是前处理 ,它是保证丝印油墨与金属面具有良好附着力的关键工序 。主要包括除油、水洗、浸蚀 、水洗、干燥;丝网印刷。 丝网印刷要根据印刷的需要 期,货期,货期,货 标准图纹丝印网版。
4、蚀刻工艺的流程如下:蚀刻前处理,它是保证丝印油墨与金属面具有良好附着力的关键工序,因此必须要彻底清除金属蚀刻表面的油污及氧化膜。除油应根据工件的油污情况定出方案 ,在丝印前进行电解除油,保证除油的效果 。
蚀刻是什么原理呢?
1 、蚀刻,俗称腐蚀、烂版、腐刻等。其原理就是利用金属和溶液之间发生氧化还原反应 ,从而达到选择性溶解的目的,这就是蚀刻。在电子行业和广告装饰行业具有非常广泛的应用 。
2 、蚀刻工艺原理是用氢氟酸对玻璃制品的局部表面进行腐蚀。刻蚀工艺包括八个步骤:ISO、BG、BLC 、GBL、SNC、M0、SN和MLM。在半导体制造业中,蚀刻(Etch)指在薄膜上雕刻图案 。
3 、回答如下:草酸蚀刻的原理是利用草酸的还原性质。在蚀刻液中 ,草酸被用作还原剂,通常选用工业产品。草酸能够产生氢离子,这些氢离子可以将金属氧化物还原成金属,从而改变金属表面的性质 。
4、蚀刻加工 ,是利用这一原理,对金属进行定制加工的一门工艺手段。
5、饱和盐水电蚀刻金属的原理是电化学原理,阳极接需蚀刻的金属 ,令其失去电子溶解从而达到蚀刻的结果。盐水起电子交换的作用,阳极金属溶解,溶液里的金属阳离子吸附在阴极金属上得到电子还原为金属原子 。
6 、蚀刻 实际就是电解某种金属材料 ,如 电解铜 、铁等。具体做法是将要蚀刻的制件做阳极,用耐蚀金属材料做辅助阴极。将阳极连接电源的正极,辅助阴极连接电源的负极。如图6—7所示 。
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